型材选购:不腐蚀铝的高速硅蚀刻液开发成功

   日期:2016-08-22     来源:建材之家    作者:玻璃之家    浏览:45    评论:0    
核心提示:日本林纯药工业与三洋半导体制造宣布开发出不腐蚀铝布线,而只选择性地蚀刻硅底板的蚀刻液。其特点在于不腐蚀电极和布线的铝和铝合金材料,而高速蚀刻硅底板。将用于在硅底板上深蚀刻形成MEMS元件结构体的微细加工,以及采用铝布线的LSI。 硅底板的晶体各向异性蚀刻,通常使用对铝和铝合金腐蚀性强的强碱性溶液。以KOH(氢氧化钾)、TMAH(氢氧化四甲铵)溶液为代表。过去,因使用强碱性溶液,在形成铝布线后,进行

型材选购:铝焊料制造技术的详细研究

推荐简介:铝及其合金在工业生产和社会生活中的应用日益广泛,由于比重小、导电(热)性好、铸造性和机械加工性优良,铝在现代工业材料中的重要作用不可替代。在航空、航天、通信、汽车、电子、家电、生活用品等方面,为了减轻重量、提高功效、增强美观,以铝代铜、以铝代钢取得了可喜的成就。这些成就的取得很大程度上依赖于焊接技术的发展,尤其是钎焊和氩弧焊,探讨铝的氩弧焊、钎焊以及钎焊、氩弧焊用铝焊丝的制造技术有着长远的意义。......
板材之家讯:日本林纯药工业与三洋半导体制造宣布开发出不腐蚀铝布线,而只选择性地蚀刻硅底板的蚀刻液。其特点在于不腐蚀电极和布线的铝和铝合金材料,而高速蚀刻硅底板。将用于在硅底板上深蚀刻形成MEMS元件结构体的微细加工,以及采用铝布线的LSI。

硅底板的晶体各向异性蚀刻,通常使用对铝和铝合金腐蚀性强的强碱性溶液。以KOH(氢氧化钾)、TMAH(氢氧化四甲铵)溶液为代表。过去,因使用强碱性溶液,在形成铝布线后,进行硅的晶体各向异性蚀刻时,需要在蚀刻液中添加各种硅、氧化剂、还原剂,使铝的表面氧化以抑制腐蚀。但是,这种方法会降低蚀刻速度。如蚀刻液中含有作氧化剂的双氧水,也会在硅表面形成氧化膜。

此次开发的硅蚀刻液以TMAH为基础,关键在于加入了2种添加剂。一种添加剂的作用类似于催化剂,能够加快蚀刻速度;另一种有抑制铝腐蚀的作用。林纯药工业强调,这两种添加剂在加快蚀刻速度的同时,完全遏制了铝的腐蚀。

75℃下的蚀刻时,Al-Cu蚀刻速度使用含硅5%的TMAH为22nm/分,而使用新型蚀刻液时为0nm/分。硅蚀刻速度方面,使用含硅5%的TMAH时为47μm/小时,而使用新型蚀刻液时为59μm/小时。另外,由于加快了蚀刻速度,因此遏制了以往各向异性蚀刻中的μm尺寸金字塔状突起物的产生,这也是该蚀刻液的优点之一。

与相关热点资讯:板材之家为您提供最全面的钢管,板材,铝管,铝材,板材钢管品牌的装修知识点和各种板材钢管的导购与在线购买服务,拥有最便宜的板材钢管价格和最优质的售后服务,每天都有秒杀的抢购活动哦!敬请登陆板材之家:http://bancai.jc68.com/
广告
 
打赏
 
更多>文章标签:;相关产品:
更多>同类头条资讯
0相关评论

推荐图文更多...
点击排行更多...
板材商圈内事更多...
最新视频更多...
推荐产品更多...
水泥之家 | 橱柜之家 | 机械之家 | 水电之家 | 五金之家 | 家电之家 | 饰品头条 | 墙布头条 | 家纺头条 | 塑料头条 | 老姚之家 | 灯饰之家 | 电气之家 | 全景头条 | 陶瓷之家 | 照明之家 | 防水之家 | 防盗之家 | 博一建材 | 卫浴之家 | 区快洞察 | 漳州建材 | 泉州建材 | 三明建材 | 莆田建材 | 合肥建材 | 宣城建材 | 池州建材 | 亳州建材 | 六安建材 | 巢湖建材 | 宿州建材 | 阜阳建材 | 滁州建材 | 黄山建材 | 安庆建材 | 铜陵建材 | 淮北建材 | 马鞍山建材 |
建材 |  区快洞察 |  智控链 |  关于我们  |  联系方式  |  使用协议  |  版权隐私  |  网站地图 | 排名推广 | 广告服务 | 积分换礼 | RSS订阅 | sitemap |
(c)2015-2017 BO-YI.COM SYSTEM All Rights Reserved
Powered by 板材头条